[85673호]알파스텝/Alpha-Step D-100 Stylus Profiler
[85692호]인듐 마이크로 전극 형성 얼라이너/Indium micro fiber aligner
[85792호]고전력 소스측정 유닛/High Power source-monitor unit/Medium power source-monitor
[85792호]공정 진공도 유지 모듈/Co-evap. monitor sensing module
[85792호]기판 장착 모듈/Substrate with load lock module
[85792호]두 개 전자빔 동시 증발증착 시스템 /Adaptive Co-Evaporation System
가스 스크러버 / Gas scrubber
강유전체 박막특성 측정 시스템 / Stylus Profiler (Profilometer)
글로브박스 / 1.5Pair Glove Box